“我們現(xiàn)在只看半導(dǎo)體設(shè)備零部件及材料賽道，尤其是半導(dǎo)體量檢測(cè)領(lǐng)域?！苯?，一位私募股權(quán)投資基金(PE)的投資總監(jiān)在第十一屆中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)半導(dǎo)體設(shè)備年會(huì)上向上海證券報(bào)記者表示。
記者從現(xiàn)場(chǎng)采訪了解到，半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備、核心部件等市場(chǎng)滲透率在5%以下的領(lǐng)域，正在加速發(fā)展。PE機(jī)構(gòu)已準(zhǔn)備通過并購(gòu)基金參與下半場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)，助力被投企業(yè)做大做強(qiáng)。
此外，記者注意到，包括富創(chuàng)精密、江豐電子、新萊應(yīng)材等在內(nèi)的多家A股上市公司，已積極投入半導(dǎo)體零部件領(lǐng)域。
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量檢測(cè)設(shè)備及核心零部件受熱捧
“回溯2016年起的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，前3年是半導(dǎo)體設(shè)備、設(shè)計(jì)公司的高光時(shí)刻，最近2年尤其今年，半導(dǎo)體核心零部件進(jìn)入騰飛階段?！眲?chuàng)業(yè)7年，蕪湖通潮精密機(jī)械股份有限公司(下稱“通潮精密”)董事長(zhǎng)司奇峰對(duì)于“產(chǎn)業(yè)變遷”深有感觸。
通潮精密于2019年跨入半導(dǎo)體核心零部件領(lǐng)域，布局真空部件清洗，半導(dǎo)體設(shè)備零件三氧化二鋁等噴涂服務(wù)、陽極氧化再生，新品部件加工等業(yè)務(wù)，已有國(guó)內(nèi)客戶80多家。
資料顯示，隨著晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)等，半導(dǎo)體材料及部件需求持續(xù)增長(zhǎng)。2022年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)約為1076億美元，對(duì)應(yīng)的零部件市場(chǎng)規(guī)模約為538億美元。其中，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備、對(duì)應(yīng)零部件市場(chǎng)分別約為283億美元、140億美元，中國(guó)本土零部件企業(yè)的市場(chǎng)份額僅約25%，潛在市場(chǎng)空間很大。
“半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備、核心部件等市場(chǎng)滲透率在5%以下的領(lǐng)域，逐步得到資本青睞，也得到晶圓廠封測(cè)廠更多的驗(yàn)證支持，正在加速發(fā)展?！痹惕比A董事總經(jīng)理牛俊嶺介紹。渾璞投資合伙人姜寅明則表示，核心零部件的重要性不亞于整機(jī)設(shè)備，PE可以給予估值溢價(jià)。
半導(dǎo)體零部件的研發(fā)有多難?一個(gè)小小的密封圈，就讓一家初創(chuàng)公司奮戰(zhàn)了五六年。
溫州邦欣源科技有限公司董事長(zhǎng)丁曉榮告訴記者，針對(duì)本土產(chǎn)品顆粒物超標(biāo)、耐高溫差等缺陷，邦欣源從源頭功能注劑發(fā)力，經(jīng)過五六年的奮戰(zhàn)，終于開發(fā)出耐高溫的密封圈產(chǎn)品，超越了杜邦最高溫327攝氏度的產(chǎn)品。聞及邦欣源的研發(fā)進(jìn)展，某半導(dǎo)體真空設(shè)備廠商研發(fā)人員主動(dòng)提出對(duì)接技術(shù)交流。
資料顯示，電子級(jí)專用密封圈的市場(chǎng)長(zhǎng)期由杜邦、GT、PPE等國(guó)際公司壟斷，閥件則由VAT、SMC、V-TEX等全球性的真空閥門企業(yè)壟斷。
“舉個(gè)例子，在碳化硅襯底和外延片出貨階段的缺陷檢測(cè)上，全球只有兩款設(shè)備，分別是美國(guó)KLA(科磊)的Candela CS8520、日本Lasertec 的Sica88，現(xiàn)在后者的交貨周期是2年?！睂?duì)于半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備的研發(fā)難度及市場(chǎng)空間，上海優(yōu)睿譜半導(dǎo)體設(shè)備有限公司總經(jīng)理唐德明直言，長(zhǎng)期以來，半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備幾乎由KLA獨(dú)家壟斷，隨著制程技術(shù)發(fā)展、碳化硅等新需求增長(zhǎng)，半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備的重要性更加凸顯。
面對(duì)火熱的賽道，半導(dǎo)體零部件從業(yè)者則頗為冷靜。作為從業(yè)20多年的“老兵”，托倫斯半導(dǎo)體設(shè)備(啟東)有限公司副總經(jīng)理李昌哲表示，機(jī)遇當(dāng)前也要尊重生態(tài)圈，托倫斯選擇的商業(yè)模式是只對(duì)設(shè)備原廠做技術(shù)開發(fā)，不會(huì)直接對(duì)接晶圓廠。
多公司搶先布局放大產(chǎn)業(yè)協(xié)同價(jià)值
“這個(gè)行業(yè)中沒有人是孤島，產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同才能更快發(fā)展?！睂?duì)于半導(dǎo)體零部件的發(fā)展路徑，新陽硅密(上海)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司(下稱“新陽硅密”)副董事長(zhǎng)印瓊玲在演講中表示，資本加持+產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同，半導(dǎo)體零部件才能發(fā)展得更好、更快。
事實(shí)上，新陽硅密正是走協(xié)同發(fā)展路線，在半導(dǎo)體濕法制程電鍍?cè)O(shè)備及相關(guān)濕法裝備上實(shí)現(xiàn)了快速突破。印瓊玲介紹，新陽硅密的股東之一上海新陽，是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的電鍍材料廠商;股東盛吉盛作為設(shè)備廠商，與中芯國(guó)際緊密合作。新陽硅密與股東方形成了設(shè)備、材料、用戶的合作研發(fā)。
記者注意到，除了上海新陽這樣間接參與的，還有富創(chuàng)精密、江豐電子、新萊應(yīng)材、精測(cè)電子等上市公司則直接發(fā)力半導(dǎo)體設(shè)備零部件賽道。
“現(xiàn)在產(chǎn)業(yè)下行周期，富創(chuàng)精密正在加速研發(fā)和擴(kuò)產(chǎn)，盡管只有20多億元銷售額但已經(jīng)具備超過45億元的產(chǎn)能。”富創(chuàng)精密董事長(zhǎng)鄭廣文表示，盡管當(dāng)前本土半導(dǎo)體零部件企業(yè)發(fā)展面臨著規(guī)模小、重資產(chǎn)、大投入、研發(fā)周期長(zhǎng)、單品市場(chǎng)空間小等難題，但產(chǎn)業(yè)必須大力發(fā)展，產(chǎn)業(yè)鏈公司更要敢于逆勢(shì)投資。
2020年中，美國(guó)MOCVD設(shè)備廠商Veeco發(fā)出禁止SGL出售石墨盤(晶圓承載器)的禁令，使得華燦光電股價(jià)重挫?，F(xiàn)在，本土零部件廠商已經(jīng)開始在石墨盤這樣的重要領(lǐng)域發(fā)力。
“江豐在E chuck靜電吸盤、SiC涂層石墨基座等核心部件上取得長(zhǎng)足進(jìn)展?！苯S電子副總經(jīng)理邊逸軍介紹，公司積極布局核心零部件，已設(shè)立了6個(gè)量產(chǎn)基地，擁有750臺(tái)/套機(jī)床設(shè)備，組建了1600人的研發(fā)制造團(tuán)隊(duì)，現(xiàn)在擁有量產(chǎn)客戶120家。
新萊應(yīng)材近期披露，在半導(dǎo)體真空應(yīng)用領(lǐng)域，公司產(chǎn)品包括高真空和超高真空的法蘭、管件、鋼瓶、傳輸閥、鋁合金與不銹鋼閘閥、角閥、腔室、加熱帶、視窗、無氧銅墊片等。精測(cè)電子則表示其全面布局半導(dǎo)體量檢測(cè)領(lǐng)域的膜厚、電子束、OCD(光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備)等設(shè)備。
鑒于行業(yè)特性，半導(dǎo)體零部件的發(fā)展趨勢(shì)一定是企業(yè)平臺(tái)化。多位PE機(jī)構(gòu)投資人透露，已開始準(zhǔn)備并購(gòu)基金參與下半場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)，助力被投企業(yè)做大做強(qiáng)。
